會(huì)上，來自四川省質(zhì)監(jiān)局、四川省電子產(chǎn)品進(jìn)度檢驗(yàn)所、電子科技大學(xué)等7個(gè)單位的專家據(jù)《企業(yè)產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)管理規(guī)定（國質(zhì)檢標(biāo)聯(lián)[2009]84號(hào)）》的要求，對(duì)光電所制定的《接近/接觸式紫外光刻機(jī)》逐一條款進(jìn)行了認(rèn)真審核，一致認(rèn)為《接近/接觸式紫外光刻機(jī)》生產(chǎn)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)符合規(guī)范要求，是目前我國在該產(chǎn)品領(lǐng)域中制定的可行標(biāo)準(zhǔn)，對(duì)促進(jìn)國內(nèi)該產(chǎn)品的生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)化具有指導(dǎo)意義。
近年來，光電所研發(fā)的具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的URE-2000型系列單雙面紫外光刻機(jī)、無掩模數(shù)字光刻機(jī)、納米壓印光刻機(jī)、投影光刻機(jī)等獨(dú)具特色的微細(xì)加工光學(xué)設(shè)備已具備小批量生產(chǎn)能力，在國內(nèi)外市場(chǎng)上獨(dú)占鰲頭。光電所在產(chǎn)品研發(fā)過程中，高度重視產(chǎn)品的設(shè)計(jì)、制造、生產(chǎn)、檢驗(yàn)等規(guī)范，并逐步形成標(biāo)準(zhǔn)化，研發(fā)的產(chǎn)品以其突出的功能、可靠的品質(zhì)、領(lǐng)先的技術(shù)和優(yōu)勢(shì)的服務(wù)，受到國內(nèi)外眾多用戶的青睞，在微細(xì)加工技術(shù)科學(xué)領(lǐng)域受到廣泛好評(píng)?！督咏?接觸式紫外光刻機(jī)》生產(chǎn)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)的頒布對(duì)光電所接近/接觸式紫外光刻機(jī)研發(fā)、生產(chǎn)過程標(biāo)準(zhǔn)化、規(guī)范化，進(jìn)一步提高產(chǎn)品質(zhì)量、可靠性和市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力將發(fā)揮重要作用。