納米結(jié)構(gòu)由于在眾多領(lǐng)域的應(yīng)用潛能引起了越來(lái)越多的關(guān)注,如光催化、生物傳感、電磁學(xué)和超疏水材料等方面。目前先進(jìn)的納米結(jié)構(gòu)加工技術(shù)包括電子束曝光、聚焦離子束直寫(xiě)、探針直寫(xiě)技術(shù)等。這些加工方法可以制備出高分辨率的納米結(jié)構(gòu),但是較低的加工效率和高額的加工成本使得大規(guī)模生產(chǎn)仍然是一個(gè)巨大挑戰(zhàn)。
中科院光電技術(shù)研究所胡松課題組基于現(xiàn)有的發(fā)展現(xiàn)狀,展示了一種納米球碗陣列的加工制備新方法,該方法結(jié)合了PS球自組裝過(guò)程、納米壓印技術(shù)以及溶脫剝離技術(shù),具體的加工過(guò)程如圖1所示。首先是將納米尺度的PS球自組裝在基片上,作為納米壓印技術(shù)的模板使用,然后調(diào)節(jié)壓印的壓力和壓印膠的厚度,控制納米球浸沒(méi)的深度,最后利用溶脫剝離技術(shù)去除PS球,獲得口徑大小不一的納米球碗陣列結(jié)構(gòu),如圖2所示。該研究提出的新方法,可以實(shí)現(xiàn)不同尺寸的納米球碗的可控制作,在反應(yīng)器件、催化和表面拉曼增強(qiáng)基底等方面具有廣闊的應(yīng)用前景。
圖1納米球碗制備過(guò)程
圖2不同口徑的納米球碗陣列結(jié)構(gòu)